ドイツFirst-sensor慣性センサ

傾斜角計と加速度計

容量式傾斜角計と加速度計は単結晶シリコンセンサ素子を採用し、*先進的なマイクロ機械加工技術を融合し、高性ノイズ比と優れた温度安定性を実現するため、極めて微小な傾斜角または加速度変化を検出することができる。

広幅比微細構造（HARMS）のおかげで、一連のセンサは交差軸感度が極めて低い。また、すでにれんが利を得ている高度柔軟型AIM（エアギャップ絶縁微細構造）技術は、寄生容量を*大幅に削減することができる。

評価ボード

また、センサデータを簡単かつ迅速に読み取るためのさまざまな評価ボードを提供しています。