製品の詳細

ZM 01 VOCセンサはMEMSプロセスを用いてSi基基板上に微熱板を作製し、使用されるガス感受性材料は清浄な空気中で電気伝導率の低い金属酸化物半導体材料である。センサに敏感ガス環境が存在する場合、センサの電気伝導率は空気中の被検出ガス濃度に応じて変化する。このガスの濃度が高いほど、センサの電気伝導率が高くなる。このセンサは感度が高く、コンパクトで精密で、I 2 Cデジタル信号出力方式を採用し、複数のセンサのネットワーク観測を容易にし、同時にアラームトリガ信号として1つのピンを予備配置して出力し、環境安全、携帯機器など多くの分野に広く応用できる。

センサーの特徴

MEMSプロセス、安定信頼性、超低消費電力、高感度、抗電磁干渉

主な用途

環境モニタリング、携帯機器、医療衛生、現場制御

技術指標