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YSH20
YSH 20は高速、高精度、フリップチップ貼付機の貼付能力は4500 UPH（0.8秒/Unit）に達し、フリップチップ貼付機の中でトップクラスの貼付能力を持っている※貼付精度は±10µm（3σ）YWFウェハ供給機は6、8、12インチのウェハを使用でき、拡散リングをサポートし、θ角度補償機能を持ち、
製品の詳細
説明
基本仕様
| YSH20 | |
|---|---|
| 対象基板寸法 |
L50 x W30 ～ L250 x W200 mm ※最大L 340 x W 340 mmまで対応可能な基板です。 |
| 部品供給形態 | ウェハ（6/8/12インチ平板リング）、ハニカムトレイ、テープトレイ（幅8/12/16 mm） |
| 電源仕様 | 三相AC 200/208/220/240/380/400/416 V：±10%50/60 Hz |
| きゅうきげん | 0.5 MPa以上、クリーニング乾燥状態 |
| 外形寸法（突起部を除く） | L 1400 xW 1820 xH 1515 mm（本体部分のみ） L 1400 xW 2035 xH 1515 mm（YWFウェハ供給装置付き） |
| じゅうりょう | 約2470 kg（本体部分のみ） 約2780 kg（YWFウェハ供給装置付き） |
- ※詳細はお問い合わせください。
- 仕様、外観に予告なく変更がある場合があります。
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