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上海朝輝圧力機器有限公司
>製品>しんくうあつりょくけい
会社情報
  • 取引レベル
    VIP会員
  • 連絡先
    胡(こ)
  • 電話番号
    15026706579
  • アドレス
    上海市松江区南楽路1276弄115号
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しんくうあつりょくけい
真空圧力計は、光起電力、半導体及び工業市場においてプロセス制御に重要な精密真空測定に適している。応用:真空炉、真空包装、プラズマ滅菌器、凍結乾燥、真空蒸留、石化業界、半導体業界、PECVD/ALDプロセス設備、プラズマエッチングプロセス設備
製品の詳細

真空圧力計は高安定静電容量敏感素子を使用し、優れた耐過圧能力と優れた長期安定性を備え、光起電力、半導体及び工業市場においてプロセス制御に極めて重要な精密真空測定に適している。先進的な製造技術と技術は、応用シーンにおける再現性を保障し、本圧力計の動作電圧は24 V DCで、標準的な(0 ~ 10)V DCアナログ出力信号を持ち、フルスケール測定で、使用可能範囲は1 Torr(133 Pa)から10 Torr(1.33 kPa)である。

しんくうあつりょくけい 主な特徴

業界標準コネクタ

高精度:標準±0.5%示度、オプション±0.25%示度

精密ダイヤフラムは優れた性能を保証する

動作温度補償範囲が広い

回路ノイズが低く、応答が速い

環境条件の変化に影響されにくい

優れた耐過圧設計

製品外形

真空压力计

過負荷と爆破圧力の定格値

仕様パラメータ

レンジ 10トールA/1.33kPa。A
精度 ±0.5%読書、±0.25%示度(オプション)
動作電圧 (18~24)V DC
しゅつりょくしんごう (0〜10)V DC
作動温度 (10~50)℃
測定媒体 ガス
電気コネクタ 9 pinアナログインタフェース
プロシージャ接続 KF16
オン予熱時間 10分
シェルマテリアル ステンンレス鋼
えきたいせっちゃくざいりょう 镍基合金

配線定義

真空压力计

キャリブレーション操作の説明

真空压力计

キャリブレーション準備

1 0.5 T、5 T、10 T対応調整窓保護ボタンを取り外し、

2小さなドライバーを1本用意します。

ひょうていそうさ

1外部気圧を0.5 Tに調整し、1 min気圧が安定するのを待ってから、1字の小さなドライバーでまず時計回りに半回転0.5 Tポテンショメータを回転してから半回転0.5 Tポテンショメータに戻る、

2外部気圧を5 Tに調整し、1 min気圧が安定するのを待ってから、1字の小さなドライバーで5 Tボタンを回してください。

3外部気圧を10 Tに調整し、1 min気圧が安定するのを待ってから、1字の小さいドライバーでまず時計回りに半回転10 Tポテンショメータを回転してから半回転10 Tポテンショメータに戻る、

4上記3ステップ動作を完了したら、キャリブレーション完了。

キャリブレーション操作上の考慮事項

1標定過程において、0.5 T及び10 Tポテンショメータを回転させたり、5 Tボタンを押したりするには、1 min外部気圧が安定してから待たなければならない。10 T標定が完了すると、トランスミッタは記録データを自動的に保存する。

2 0.5 Tまたは5 T圧力点を再定格する必要がある場合、10 T圧力も再定格する必要がある(10 Tポテンショメータは同時に保存の役割を果たす)

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