UV光分解プラズマ脱臭浄化設備の放電過程において電子温度は高いが、重粒子温度は低く、システム全体が低温状態を呈しているため、低温プラズマと呼ばれる。遊離酸素が持つ正負電子はアンバランスであるため酸素分子と結合し、オゾンを発生させる必要がある。UVビームは悪臭ガス中の分子結合を分解し、破壊された核酸（DNA）を分解し、オゾンを通じて酸化反応を行い、排気ガスに二酸化炭素と水を生成させ、脱臭と殺滅の目的を達成する。

高オゾンUV紫外線ビームを用いて空気中の酸素分子を分解して遊離酸素、すなわち活性酸素を発生させ、遊離酸素が持つ正負電子がアンバランスであるため酸素分子と結合し、さらにオゾンを発生させる必要がある。UVビームは悪臭ガス中の分子結合を分解し、破壊された核酸（DNA）を分解し、オゾンを通じて酸化反応を行い、排気ガスに二酸化炭素と水を生成させ、脱臭と殺滅の目的を達成する。

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