| 測定項目 |
| 測定項目 |
点、直線、円、部分円、楕円、円弧処理(円弧半径、円心距離、円心から直線までの距離、
交点から中心までの距離など)、最高点、最低点、距離、角度処理(座標角度、直線角度)、
直線度、溝深さ、溝幅、溝端距離、溝心距離、水平距離、凸度(対数曲線)、輪郭度などのパラメータ
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| 測定範囲 |
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X軸(横ガイド)
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100ミリメートル |
| Z 1軸(センサ) |
20mm |
| Z軸(支柱) |
400ミリメートル |
| 測定精度 |
| X軸(L=X軸ガイド移動距離) |
±(1+2L/100)μm |
| Z 1軸(H=Z 1軸方向測定高さ) |
±(1.8+3H/100)μm |
| X軸水平アーム |
| ちょくせんど |
0.2μm /60mm |
| ラスタ解像度 |
0.1μm |
| ラスター産地 |
輸入 |
| Z 1軸センサ |
| 解像度 |
0.02ミクロメートル |
| センサタイプ |
インダクタンスセンサ |
| 産地 |
輸入 |
| 移動方向 |
前/後の2方向 |
| ちからを測る |
0.01-0.06N |
| 針先を測る |
硬質合金R:0.05 mm、0.01 mm |
| 登坂角度 |
77度上昇88度低下 |
| 速度 |
| そくていそくど |
0.02mm/s、0.05mm/s、0.1mm/s、0.2m/s、0.5mm/s、1.0mm/s、2.0mm/s、4.0mm/s(8個) |
| 位置決め速度 |
0.02mm/s、0.05mm/s、0.2m/s、0.5mm/s、1.0mm/s、2.0mm/s、3.0mm/s、4.0mm/s(8個) |
| 図の拡大/縮小 |
| 図形拡大 |
任意に縮小、拡大可能 |
| そうごうちょうせいき |
| A型総合調整台 |
X軸水平傾斜調整範囲:±30°、Y軸方向調整範囲:±7.5 mm、Z軸回転360度調整可能(微調整装置付き) |
| B型総合調整台 |
X軸水平傾斜調整範囲:0-60°、Yθ1:0-1.5度、Zθ1:0-2.5度、Zθ2:0-1.5度 |
| インストール要件 |
| 電源 |
220-240V AC, 50HZ,単独地線電力消費量≤450W |
| あっしゅくくうき |
純圧縮空気:気圧0.4 MP、消耗0.1m³/min(気源供給0.6 MP、0.25
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| m³ |
/min以上) |