詳細：

シラン燃焼塔本燃焼塔は燃焼洗浄法を用いてシランガスを浄化し、それはそれぞれ1級燃焼塔と2級燃焼洗浄塔からなる。シラン（シラン）が空気中で自燃する特性に基づき、特に燃焼塔に密閉燃焼室を設置し、シランが燃焼室内で十分に燃焼するためには、燃焼塔内の負圧を保証し、−100 Pa程度に制御しなければならない。製品パラメータ。シラン燃焼塔

動作原理
ガスは、導管からステンレス鋼燃焼槽の一次燃焼処理を経て、導管からシラン燃焼塔の入口を経て塔内に一度上向きに移動する。ノズルから吐出された液滴は下に移動し、洗浄された。その後、塔内の二次浄化と同時に塔内に充填材を入れ、ガスとの接触面積を増大させ、ガスと液滴の場所を十分に接触させ、徹底的な浄化効果を達成した。クリーンはガスから上層の脱水層を経て排出される。このガス成分が異なるため、酸液またはアルカリ液を洗浄として使用します。

適用業界：太陽電池パネル
特徴
浄化効率は98%-99.9%以上に達することができる
構造が簡単で、圧損が小さい
処理風量が大きく、性能が安定している
操作メンテナンスが簡単で便利
設備の寿命が長い

当社が生産したCRS型ステンレス鋼シラン燃焼洗浄塔はシラン、アンモニアガス及びその他の可溶性ガスを処理する排ガス浄化設備であり、主に太陽電池生産ライン業界及びPECVD化学蒸着技術により発生した排ガスを処理するために使用されている。
本製品は構造上、主にステンレス鋼筐体、燃焼システム、洗浄システムとスラグ洗浄システムから構成される。吸気面では圧縮空気と新風吸気口の二重吸風形式を採用し、製品の運行効率と信頼性を高める。シャワーシステムの面では、循環ポンプと自動補水を結合する方法を採用し、ファンは1つの予備形式を採用し、これらの技術特徴は本製品の安全信頼性の面で極めて保証されている。内部燃焼室は特殊な圧力逃がし装置を採用し、内部圧力が急に増大した場合でも正常に動作するとともに、窒素ガス入口を備え、設備の安全性をさらに高めた。粉塵収集の面では静圧堆積の方法を採用し、堆積した粉塵はスラグ排出口を通じて排出され、これにより粉塵収集処理がより容易になり、より効果的になる。権威ある部門の実測によると、顧客単位シラン（SiH 4）の除去率≧99.99%、アンモニア（NH 3）及びその他の水溶性ガスの浄化率は99.99%に達した。

一、概要
ステンレスシラン排ガス浄化装置は、太陽電池業界の生産プロセスで発生したシラン排ガスを処理する新しい環境保護設備である。この浄化設備はCWR型ステンレスシラン排ガス燃焼筒とCWJ型ステンレスシラン排ガス浄化塔の2つの部分から構成されている。この装置は耐食性、高強度、安全信頼性、浄化効率などの特徴がある。
二、動作原理
シラン排ガスと空気接触による自燃の特徴に基づき、生産プロセスで発生したシラン排ガスはパイプラインからCWR型ステンレスシラン排ガス燃焼筒に入って燃焼処理を行い、燃焼筒処理を経た排ガスはパイプラインからCWJ型ステンレスシラン排ガス浄化塔に入って二次浄化処理を行う。まず浄化塔のシャワー室に入って1回のシャワー処理を行ってからフィラー層を通って2回目のスプレー処理に入り、排気ガスと中和循環液とを十分に逆接触反応させ、その後脱液処理を経て換気機から排出する。
この設備は2台のポンプを用いてそれぞれ2つのシャワー室でシャワー吸収を行い、ポンプ-1が破損した場合は応急補水弁を起動してシャワーを行う。二台風機（一用一備）を用いて換気を行い、調節弁を備えて流量を制御する。

三、規格と性能

四、基礎図1 .基礎材料150#コンクリート、埋め込み鋼板の底面に4本の曲げフック付き円鋼を溶接して基礎の中に埋めた。
2 .基礎表面のセメントモルタルを平らにして磨き、燃焼筒、浄化器とファン鋼井戸棚の3つの基礎の上面は同じ水平面にあることを要求している。
3 .基礎構造は土建によって設計されている。
五、注意事項CWJステンレスシラン排ガス浄化塔——操作、メンテナンス、メンテナンス及び制御システムの注意事項：
1、設備の設置が終わったら、試運転の前に塔内の汚物を除去しなければならない。
2、中和液を所望の範囲に注入する。
3、ポンプを運転し、正常に運転されているかどうかを検査し、圧力計が正常であるかどうかを検査する。
4、ファンをつけて運転し、運転が正常かどうかを検査する。
5、CWJ浄化塔は負圧運転であり、負圧が大きすぎると新風弁を開いて調節する。
6、システム全体の風量は浄化塔出口配管上の調節弁によって調節される。
7、毎日必ず貯液タンクの液位を検査しなければならず、オーバーフロー口より低くないのは正常である。
8、ポンプ-1が損傷した場合、直ちに応急補水弁を開けてシャワー処理を行う必要がある。
9、ファンとポンプのスイッチプログラム：
起動時にはまずポンプ-1、再起動ファン、後にポンプ-2を起動する、
電源を切る時はまずポンプ-2を閉めて、それからファンを閉めて、それからポンプ-1を閉めます。
10、フィラーヘッドを洗浄または交換する場合は、マンホールを開けてください。
11、Si 02粉や汚泥を除去する場合は、汚れ防止弁を開けてください。
12、設備中の中和液は毎月一回徹底的に交換する。
13、設備内部のノズル及び充填剤は3ヶ月ごとに洗浄を検査する