製品機能の紹介：

プラズマ洗浄技術は約30年前の半導体業界に起源し、プラズマ洗浄は主にサンプル表面の炭化水素を洗浄するために用いられた。プラズマ洗浄の重要なポイントは、サンプル自体の化学組成を変えることができないこと、サンプルの構造的特徴を変えることはできない、サンプル表面を損傷してはならない。
SOLARUS-新たな先進プラズマ洗浄システムにより、TEM及びSEM試料台又は試料に対する炭化水素の汚染を除去する。Solarusは次世代プラズマシステムであり、その改造の新しい概念と技術はそれをより良い性能、操作の簡便さと良好な洗浄効果を持たせている。Solarusは、市販の他のプラズマ洗浄システムと比べて効果的な洗浄効果を提供します。

ブランド紹介：

米GATAN社は1964年に設立され、70年代末に中国市場に進出した。GATAN社はその製品の高性能と技術の先進性で世界の電子顕微鏡界で極めて高い名声を持っている。

世界をリードする電子顕微鏡機能の強化と拡張のためのアクセサリメーカーとして、サンプルの製造からイメージング、分析までのすべてのステップのニーズをカバーしています。製品の応用範囲は材料科学、生命科学、地球物理学、電子工学、エネルギー科学などの分野を含み、顧客範囲は世界の科学研究所、大学、各種検査機関及び大手工業企業実験室をカバーし、そして国際科学研究分野で広く認められた。

ディーラー紹介：

欧波同有限公司は中国をリードするマイクロナノテクノロジーサービスサプライヤーであり、外資系企業を投資背景とするハイテク企業である。本社は香港にあり、それぞれ北京、上海、遼寧、山東などに支社と事務所を設置している。サイマー飛電子顕微鏡、GATAN走査電子顕微鏡のサンプル製造設備及び付属分析設備の中国地区における重要な戦略パートナーとして、会社は「国内影響力のある機器販売ブランドを構築する」という経営理念を受け継ぎ、サイマー飛、GATANブランドと強力に連携し、数万人の中国ユーザーに高品質の製品と国際技術サービスを提供している。

製品の主な技術特徴：

Solarusはプラズマ処方を利用した独自の洗浄ソリューションで、Holey炭素膜を含むすべてのサンプルに対して、より迅速で徹底的な洗浄効果があります。この装置は表面に堆積した汚染物質を安全に洗浄することができ、汚染されたサンプルの観察時間を拡大する。分子ポンプと多段ダイヤフラムポンプを組み合わせた真空システムを採用することで、迅速で信頼性の高い抽気効果を確保することができる。1分未満の抽気と排気時間、30秒〜2分の洗浄時間、全過程を2分も使わない。

プラズマ洗浄を使用するメリット：

イメージング能力の向上

元素分析の精度を高める

SEMでは、EDXとEBSDの観察と収集時間を延長する

TEM/STEMにおけるSTEMとEELS分析にとって非常に重要な、より小さなビームスポットを使用することができる。

製品の主な技術パラメータ：

無線周波数源：電力自動整合機能を備えた50ワットの無線周波数電源

真空システム：70リットル/秒の分子ポンプと2段ダイヤフラムポンプ

気圧：5 E-6 Torr基本圧力、400 mTorr作動圧力

真空ゲージ：コンパクトなピラニゲージ

船室：

2つのフロントインターフェースは、TEMサンプルロッドとSEMサンプルロッドを横挿しするためのTEMアダプタを搭載することができる

上部入口はSEM試料台、顕微鏡鏡筒部品または各種真空部品を入れるために使用される

チャンバサイズ3.5”直径x 2.0”深さ

フロントビューウィンドウは動作時のプラズマ発光を観察することができる

内蔵の電磁弁はハッチと真空ポンプの間を隔離し、真空引き時間は1分未満、排気時間は5秒未満である。

ガス制御：正確な質量流量計を用いてガス流量を測定及び制御する

ガスの種類：3ウェイ独立ガス（H 2、O 2、Ar）を採用

洗浄処方：H 2/O 2処方を含む一連の処方を提供し、同時にユーザーのカスタマイズ処方をサポートする

ユーザーインタフェース：インタラクティブタッチスクリーンを採用し、中国語、英語などの多言語インタフェースを提供する

電源：汎用電圧/周波数100 VAC-240 VAC/50-60 Hz/1000 W

従来のプラズマ洗浄器と比べて、Solarusの主な利点：

1.）独自のH 2/O 2処方

2）より速い洗浄サイクル（2分未満）

3.）インタラクティブなタッチスクリーン設計

4.）7種類のテスト済みワンタッチ操作式処方を提供する

5）サイドプラグTEMとSEMサンプルロッドを積載するための2つの前置サンプルポート

6）トップマウントポートは、複数の（＞25）TEMマイクログリッドまたはSEMサンプルテーブル／サンプルを積載することができる

7）自動整合電力の無線周波数源はプラズマ源の長時間安定性を確保する

8）正確なガス流量制御（質量流量計）

9）小損傷の洗浄Holey炭素膜

10.）複数言語（英語、中国語、日本語、ハングル、フランス語、ドイツ語）に対応

主な用途：

TEM及びSEM試料台又は試料に対する炭化水素の汚染の除去