EBSD，全称電子後方散乱回折は、主な特徴は走査電子顕微鏡の通常の特徴を残しながら空間分解能サブミクロン級の回折を行い、結晶学的なデータを与えることである。

例1

20 kV条件下で得られたタングステン炭化物／コバルト試料のEBSD結果

PCBボード上の半田ボールSEM-EBSD試験

低炭素鋼におけるγ→αの相転移をその場観察

Al合金のその場EBSDの応力歪みデータ

例2共軸TKD技術を用いてナノ双晶銅のナノシート層構造を試験し、そして2 nmスケールの双晶シート層構造を分解した

ナノ双晶銅の双晶構造PQ図とIPFXの重畳表示及び図中の線分における角度分布図