れいとうぎじゅつ

スターリング冷凍技術を採用し、オンラインと実験室の応用に互換性がある。

高感度技術

コールドトラップは-160℃に達し、CF4とNF3の貫通体積≧2 L、コールドトラップパルス非分流技術を結合し、90%のODS検出限界≦0.1 ppt。

にだんじょすい

サンプリング前後2回の除水で、除水効率は99.9%以上に達し、コールドトラップの閉塞と保持時間のドリフトを回避した。

二酸化炭素/アルゴンガス除去

特殊吸着剤を用いてCOを除去する2ODSを失うことなく、化合物が質量スペクトル上で抑制されることを回避した。コールドトラップ温度を精密に制御し、プレコンデンサ上でアルゴンガスとCFを分離する4とNF3。