Park NX 15は、実験室の研究者が各種サンプルを処理したり、多変数実験を行ったりするのに最適なだけでなく、故障解析エンジニアがウェハを処理するシステム的な仕事にも適している。

便利なサンプル測定（マルチサンプルスキャンを含む）

複数のサンプルを一度に自動イメージング

設計された多様な本チャックは、一度に最大でマウント可能9個の個別サンプル（オプション）

ぜんでんどうXYサンプルテーブルストロークは150 mmx 150 mmに達することができる

スキャナのクロストークを除去することにより正確なXYスキャン

独立閉ループXYおよびZフレキシブルスキャナ

直交XYスキャン

ソフトウェア処理なしで信頼性の高いサンプルの表面形態情報を保持

真の非接触モードはプローブ寿命、イメージング解像度、サンプルの有効な保護を実現する

すばやいZサーボ速度、真の非接触モードを実現

針先摩耗微小化により、長時間の高品質・高解像度イメージングが可能

複数のモードとオプション

包括的な測定モードと特性評価方法

オプションのアクセサリと拡張機能のアップグレードが可能

障害解析用（FA）の精密電気測定

Park NX15パラメータ

スキャナ

Zスキャナ

フレキシブルブート高推力スキャナ

Zスキャン範囲：15μm（30μmオプション）

XYスキャナ

閉ループ制御式シングルモジュールフレキシブルXYスキャナ

スキャン範囲：100μmx 100μm

光学

ビジュアルカメラ付き同軸光学系

対物レンズ：10 x増幅

視野：

480μm X 360μm（デフォルト120万画素ビジョンカメラ）

840μm X 630μm（デフォルト500万画素ビジョンカメラ）

かいろシステム

しんごうしょり

ADC:使用＃シヨウ＃ X，YおよびZスキャナ位置センサの24ビットADC

DAC:使用＃シヨウ＃ X，YおよびZスキャナが位置決めする20ビットDAC

サンプルテーブル

Zシフトテーブルストローク範囲：25.5 mm

XY変位テーブルストローク範囲：150 mm X 150mm

サンプルサイズ：満足できる150 mm waferサンプル