一.概要：
無酸素オーブンウエハは無酸素箱、無酸化オーブンをカプセル化し、作業中、作業室内に不活性ガスCO 2、N 2が充満し、材料がベーキング時に酸化されるのを防止する。工業における無酸化オーブンの用途：IC包装、LCD,トランジスタ、センサ、ダイオード、水晶発振器、ハイブリッド集積回路基板……

二.製品技術パラメータ
1.名称と型番：デュプレキャビティ無酸素オーブンAO-2 DSL FCNET（ONET-240ネットワークオンライン機能をサポート）
2、主な技術指標：
2.1動作寸法：W 1000＊D 500＊H 610＊2 mm
2.2電源：380 V 3φ50 HZ 18 KVA
2.3酸素含有量の制御は<=100 PPMであること。
2.4温度範囲：RT（室温）+60～+300℃、
2.5温度均一度：±1.5%、
2.6昇温速度：室温〜250℃、45分間（空箱試験）。（顧客プロセス高温度300℃）
2.7風冷降温：100分以内の降温は250℃から70℃に達することができる

3、箱体構造：
3.1オーブンは箱体部分、電気制御盤部分、電気加熱及びダクトシステム部分から組み立てられ、構造が合理的で、外観が美しく、気前がよい；
3.2全周アルゴン溶接、高温シリカゲルの圧迫に耐え、SUS 304＃ステンレス電熱発生器、機台自身の微塵発生を防ぐ、
3.3箱体材料：外箱はSS 41#中炭素鋼板を用いてリン酸皮膜塩処理後の2層防光面塗装塗装塗装塗装を行い、微塵を防止することができる、
3.4内胆材料：輸入SUS 304#日製800番2 mm厚さの鏡面ステンレス板を採用し、アルカリソーダ水で洗浄し、油汚れを除去してベーキング時にPARTICLEを発生させない、
3.5中槽材料：輸入SUS 304#日製800番2 mm厚さの鏡面ステンレス板を採用し、アルカリソーダ水で洗浄し、油汚れ及びアルゴン溶接密封加工（汚染防止）する。
3.6保温材料：ケイ酸アルミニウム綿、
3.7中間層の冷却：中間層の空冷冷却

4、温度制御システム
4.1コントローラは2 in 1 PLCタッチスクリーンを用いて2つのキャビティを独立して動作させ、随時切り替える。
4.2温度測定：特製の196を用いて白金抵抗を入れる、
4.3窒素ガス制御システム：二重流量計を有するインテリジェント制御窒素ガスシステム。
5、完全な安全保護措置：漏電遮断器//超温保護//非相保護//モータ過負荷電流保護//機台異常ブザー警告