ブランド紹介：

欧波同有限公司はマイクロナノテクノロジーサービスプロバイダーであり、外資系企業を投資背景とするハイテク企業である。本社は香港にあり、それぞれ北京、上海、広州、鞍山、済南、西安、成都などに支社と事務所を設置している。サイマーフライ電子顕微鏡及び韓国COXEMデスクトップ走査電子顕微鏡製品の中国地域における重要な戦略的パートナーとして。

ブランド：欧波同

型番：Luminous-S 1

この製品は走査電子顕微鏡試料処理、電極研究表面処理などの分野に応用される二極直流イオンスパッタリング装置である。この製品は安全性が高く、タッチスクリーン制御、プロセスパラメータが表示され、操作ウィザードが内蔵され、操作が簡単である。

ブランド：欧波同

型番：Luminous-S 1

この製品は走査電子顕微鏡試料処理、電極研究表面処理などの分野に応用される二極直流イオンスパッタリング装置である。この製品は安全性が高く、タッチスクリーン制御、プロセスパラメータが可視で、操作ウィザードが内蔵されており、操作が簡単で便利である。

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型番：Luminous-S 1

技術指標：

1、電源：220 V/50 Hz

2、サイズ：424 x 271 x 255 mm

3、スパッタ電圧：2400 V

4、最大電力：500 W

5、ターゲットサイズ：57×0.12 mm

6、真空ポンプ：直接接続式2段旋盤式真空ポンプ（1 L/s）

7、真空室（128×130 mm）

8、真空：≦1 Pa（抵抗式真空ゲージ）

9、動作電流：2-30 mA任意調整可能

モデル：Aurora-S 1

技術指標：

1、電源：220 V/50 Hz

2、サイズ：424 x 271 x 255 mm

3、スパッタ電圧：600 V

4、大出力：450 W

5、ターゲットサイズ：57×0.12 mm

6、真空ポンプ：直接接続式2段旋盤式真空ポンプ（1 L/s）

7、真空室（128×130 mm）

8、限界真空：≦1 Pa

9、動作電流：5-45 mA任意調整可能

特徴と用途：

1、安 全性高

高圧線の多重防護、8×5透明真空管を加える、

ハウジングの接地が良好である、

真空インターロック

電流＞50 mA、真空度は100 Paを超え、システムはスパッタを自動的に切断する、

エンティティキー

スパッタヘッドは減衰設計を採用し、任意の位置でサスペンションし、手を傷つけることを防ぐ。

2、操作が便利

5インチLCDで簡潔明瞭、

最大2つのパラメータを設定すれば、作業を開始できます。

Luminous-S 1/Aurora-S 1パラメータを設定した後、システムは自動的に調整され、精度が高く、手動で介入する必要はない、

自動排気

画面の明るさを調整できます。

試料台の高さは1秒で調整した。

3、プロセスパラメータの可視化

スパッタリング中の真空度とスパッタリング電流は曲線方式でリアルタイムに表示され、簡単で直感的である。

ターゲットの使用時間、器具の使用時間システムは自動的に記録され、設備の運行状態を直感的に理解する。

4、組み込み操作ウィザード

設備の内蔵操作ウィザードは、オペレータが交換する際に、トレーニングを必要とせずに、迅速に設備を熟練させることができます。