ParkSystemsは革命的なNX-3DM全自動原子間力顕微鏡システムは、垂下輪郭、高解像度側壁イメージング、臨界角の測定のために設計されている。独自のXY軸とZ軸独立走査システムと傾斜式Z軸スキャナ、NX-3DM正確な側壁解析における法線方向とラッパヘッドがもたらす課題を克服することに成功した。にあるTrue Non-Contact™モードでは、XE-3DM

アスペクト比の高い先端を持つ柔軟なレジストの非破壊測定を実現することができる。ナノメートル測定の正確性と高スループットは、研究分野から実際の生産用途に拡張するために、コスト効率の高いソリューションを組み合わせる必要があります。このコストの課題に直面して、Park Systems工業級の原子間力顕微鏡ソリューションをもたらし、自動測定をより速く、より効率的にし、プローブをより耐久的にする！我々は、高速で高価な走査型電子顕微鏡を放棄し、効率的で自動化された、手頃な価格の3D原子間力顕微鏡は、線上工業製造の測定コストをさらに低減する。現在、メーカーは3D2情報は溝の輪郭と側壁の変形の異なる特徴を表現し、それによって新しい設計の欠陥を正確に見つける。モジュール化原子間力顕微鏡プラットフォームは迅速なソフトウェアハードウェア交換を実現し、アップグレードをよりコスト効率的にし、複雑で過酷な生産品質制御測定を絶えず最適化する。また、私たちの原子間力顕微鏡プローブの使用寿命は少なくとも延長されています。倍になり、購入コストをさらに削減します。従来の原子間力顕微鏡はタッピングスキャンを採用しており、これによりプローブが摩耗しやすくなりましたが、私たちのTrue

Non-Contact™

しつど

30%~60%主な機能革新的な

3D測定方法

サイドカットとエクステンションプロファイル、臨界寸法

側壁粗さメジャー

業界最低の騒音

静電除去システムは安定したスキャン環境を確保する

自動測定制御、効率向上

適用＃テキヨウ＃臨界寸法と側壁測定A、レジストの緻密な線紋の断面SEM画像;B、3 DAFM画像;C、テンプレート