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モジュール統合弁
1連弁ごとに2つの3方弁を備え、設置スペースを削減している。入・排気口の取出位置が選択でき、配管の自由度が向上した。【適用シリンダ径：Φ4〜Φ16】業界半導体製造工程（前工程）化学液体供給設備用素子化学ガス供給設備用素子窒素ガス洗浄関連素子
製品の詳細
【小形化】
直接取り付け時は高さ34 mm。
DINレール取付時の高さ39 mm。
狭いスペースに設置することもできます。
【パネル取付可能】
入・排気口の取出位置が選択でき、配管の自由度が向上した。
【フラットケーブル、D-Subコネクタ】
プラグインの取り出し方向は、上から、横から選択できます。
| モデル | の名前をあげる | インストール方法 | 配管口径 | コメント |
|---|---|---|---|---|
| N3Q0660 | バルブモジュール単体 | DINレール取付方式 | スナップソケットΦ1.8、Φ3、Φ4、M 5 | |
| MN3Q0660 | モジュール統合弁 | DINレール取付方式 | スナップソケットΦ1.8、Φ3、Φ4、M 5 | |
| MT3Q0660 | モジュール統合弁 | ダイレクトマウント方式 | スナップソケットΦ1.8、Φ3、Φ4、M 5 |
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