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製品の詳細
簡単な紹介：
XR-F 001マイクロガス質量流量計は、各種類の小流量ガスの測定とプロセス制御のために設計されている。これらの一連のセンサはいずれも先進的なマイクロ電気機械システム（MEMS）流量センシングチップを用いて作製され、各種の洗浄ガスに適している。独自のパッケージ技術により、各種管径に使用でき、コストが低く、取り付けが容易で、温度圧力補償が不要で、容積式または差圧式の従来の流量計に代わることができる。
詳細：
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