• 気液混合物の気化方法により高沸点液体の安定気化を確保する
• コンパクト設計で統合が容易
• 気化効率は従来の気化方法より高い
• より大きな流量を生成
• 気化温度の低下

そくていぎじゅつ

ちゅうにゅうモード
以下は液体源を気化させて処理室に搬送する主な工程である。
1.液体源の流量を測定し、バルブフィードバックと制御により液体量を制御する。
2.液体が瞬間的に気化する。
3.ガスが放出され、液状に凝結するのを防止する。

インジェクタ内部ノズル前のキャリアガスの圧力が高いため、効率的な加熱を得ることができる。液体源と加熱されたキャリアガスはノズル前の気液混合領域で混合され、混合物がノズルを通過すると圧力が低下し、混合物はさらに気化する。