紹介：

①真空：2.0 x 10-8 Pa、

②材料質：316 Lステンレス鋼、

③インターフェースフランジ：すべてのCFナイフフランジ、

④表面処理：油除去電解研磨処理、

⑤キャビティサイズ：ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズする。

MBE分子ビームエピタクシー装置の紹介：

分子ビームエピタクシー（MBE）は新たに発展したエピタキシャル製膜方法であり、特殊な真空めっき技術でもある。エピタキシャルは単結晶薄膜を製造するための新しい技術であり、それは適切な基板と適切な条件の下で、基板材料の結晶軸方向に沿って膜を層ごとに成長させる方法である。

この技術の利点は：使用する基板温度が低く、膜層の成長速度が遅く、ビーム流強度が正確に制御しやすく、膜層成分とドーピング濃度は源の変化に応じて迅速に調整できる。この技術を用いて、数十原子層に薄い単結晶薄膜と、異なる成分、異なるドープ薄膜を交互に成長させて形成された超薄層量子顕微鏡構造材料を製造することができる。