低温プラズマ排ガス処理装置の技術紹介：低温プラズマは固体、液体、気体に続く物質の第4状態であり、印加電圧が気体の放電電圧に達すると、気体が破壊され、電子、各種イオン、原子とラジカルを含む混合体が発生する。放電中は電子温度が高いが、重粒子温度が低く、系全体が低温状態を呈するため、低温プラズマと呼ばれる。低温プラズマ分解汚染物質はこれらの電子、ラジカルなどの活性粒子と排気ガス中の汚染物質の作用を利用して、汚染物質分子を極めて短い時間で分解させ、そして後続の各種反応を発生させて汚染物質を分解する目的を達成する。

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