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所属シリーズ：減薄機製品型式：FD-4200 3 A

製品の詳細

FD-200WHこうそくよこげんすいき

適用範囲：

ワークの硬度が高く、厚さが薄く、加工精度が高い製品に最適です。次のようになります。LEDサファイア基板、石英ウエハ、シリコンウエハ、諸片、セラミックシート、タングステン鋼シート及び各種金属材料の急速な薄肉化。

高精密横方向研磨機設備の原理：

1.本シリーズの横方向薄肉研磨機は全自動精密研削設備であり、真空吸盤又は電磁吸盤吸着ワークと研削ホイールとの逆方向回転運動,研削ホイールが前後に揺動する。この方法は研削抵抗が小さく、ワークが破損することがなく、しかも研削が均一で生産効率が高い。

2.設備は自動的に刃を合わせ、実際に研削ねじれ力を検出し、自動的にワークの研削速度を調節し、ワークの研削過程中に圧力が大きすぎて変形と破損が発生することを防止し、砥石の摩耗厚さ寸法を自動的に補償することができる。

高精密横研磨機設備の特徴：

1.直径200ウェハ厚を0.08mm厚くて割れない。しかも平行度と平面度は、±0.002mm範囲内。

2.薄肉化効率が高い、LEDサファイア基板の1分あたりの研削速度が最大で薄くなる48ミクロン。シリコンウェハの1分あたりの研削速度が最大で薄くなる250ミクロン。

3.シリーズグラインダー採用CNCプログラム制御システム、タッチスクリーン操作パネル。

デバイス画像：

技術パラメータ：

オンライン照会