【Hitachi】日立の新型電界放出型走査電子顕微鏡SU 8200シリーズ（SU 8220、SU 8230、SU 8240）

機器概要：

SU 8200シリーズ冷間走査は日立ハイテクが長年の研究に専念し、巨額の投資を経て開発した次世代革新的冷間電子顕微鏡であり、これは従来の冷電界放出走査電子顕微鏡のすべての利点を完全に受け継ぐだけでなく、プローブ電流を大幅に向上させ、電流の安定性を大幅に強化した。これらの利点により、低加速電圧下で長時間連続的に高分解能観察と分析機能を実現することができる。このシリーズの走査電子顕微鏡は従来の冷電界放出走査電子顕微鏡のすべての利点を完全に継承すると同時に、プローブ電流を大幅に向上させ、電流安定性を大幅に増強し、同時にフィラメントFlash後の採図待ち時間を回避し、それは従来の冷電界電子顕微鏡のすべての弱さを補い、真の超高分解分析型冷電界走査電子顕微鏡となり、現実版の*帰還を上演したと言える！

日立ハイテク電界放出走査電子顕微鏡SU 8200シリーズの主な特徴：

日立高が新開発した冷間電子銃

1.電子銃による爆撃後の高輝度安定期において、ビームフローはより大きく、より安定し、高分解能観察と分析の両立

2.分解能を大幅に向上（1.1 nm/1 kV、0.8 nm/15 kV）

3.汚染を軽減する高真空サンプル倉庫

4.トップフィルタ（オプション）による多種類材料コントラストの可視化

日立ハイテク電界放出走査電子顕微鏡SU 8200シリーズ技術パラメータ：

応用分野：

1、ナノ材料、

2、半導体装置、

3、高分子材料、

4、生物医学、

5、新エネルギー、

サンプル：メソポーラスシリカナノボール、着陸電圧：500 V

サンプル：カオリン、着陸電圧：50 V

試料：Au／Cu 2 Oコア−シェルナノキューブ、EDXスペクトル条件：5 kV、0.7 nA、15 min、150000×

（トップフィルターオフ） （トップフィルターオフ）

サンプル：リチウムイオン電池正極材料（同一観察視野）、観察条件：1 KV