テトラクロロシラン分析用ヘリウムイオンクロマトグラフィー-グローバルベンダー

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テトラクロロシラン分析用ヘリウムイオンクロマトグラフィー

計器は高感度のヘリウムイオン化検出器を備え、華愛会社の中心切断技術を採用し、注入弁はすべてパージ保護ガス路を備えている、全機は多柱箱設計を採用し、注入圧力自動補正システムを装備し、異なる底ガスのサンプルの注入量を保証する。

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テトラクロロシラン分析ヘリウムイオンクロマトグラフィー電子工業用ガス中の微量不純物の検出を適用し、小検出濃度は5 ppbに達することができる。計器は高感度のヘリウムイオン化検出器を備え、華愛会社の中心切断技術を採用し、注入弁はすべてパージ保護ガス路を備えている、全機は多柱箱設計を採用し、注入圧力自動補正システムを装備し、異なる底ガスのサンプルの注入量を保証する。製品は前後して上海市ハイテク成果転化A級プロジェクトを獲得した。

シリコン（SiHCl₃）含有量（体積率）/l 0^-6≤		400	25
ジクロロシラン（SiH₂Cl₂）含有量（体積率）/l 0^-6≤		400	25
メチルジクロロシラン（SiCl₂CH₄）含有量（体積率）/l 0^-6≤		200	50
金属元素及びその他の元素の含有量	（ホウ素＋アルミニウム）（B＋Al）含有量／（181 g／kg）≦	——	0.1
	（リン＋砒素）（P＋As）含有量/（µg/kg）≦	——	0.3
	ガリウム（Ga）含有量/（µg/kg）≦	——	0.5
	アンチモン（Sb）含有量/（µg/kg）≦	——	0.5
	インジウム（In）含有量/（µg/kg）≦	——	0.5
	カルシウム（Ca）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	クロム（Cr）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	鉄（Fe）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	カリウム（K）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	ナトリウム（Na）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	ニッケル（Ni）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	モリブデン（Mo）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	マンガン（Mn）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	銅（Cu）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	カドミウム（Cd）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	コバルト（Co）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	亜鉛（Zn）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5
	バナジウム（V）含有量/（µg/kg）≦	1	0.5

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