自動介在物検査システム

1、高統合の自動システム

輸入顕微鏡、輸入デジタル設備、輸入XYZ-3軸電動走査台を全面的に統合する、プロジェクト化管理、プロセス化操作。

2、自動スキャン

サンプル全体を自動スキャンします。複数のスキャン方式をサポート：矩形領域、円形領域など、各種の異なる基準、異なるユーザーの検査ニーズを満たし、作業効率を大幅に向上させる。

3、オートフォーカス

多種類のフォーカスモード：補正フォーカス、手動フォーカス、EFIフォーカスなどをサポートする。最新のフォーカスアルゴリズムを採用して、試料が平らでない場合でもはっきりした画像を得ることができることを保証します。

4、自動撮影

自動撮影、写真自動保存、進行状況がリアルタイムで表示される、写真情報はデータベースに保存され、検索が便利である。視野画像閲覧機能を提供し、視野測位遡及、再写真撮影などの機能を実現することができる。

5、多種の検査基準を支持する

多種の国内及び国際標準を支持する：GB/T 10561、ISO 4967、JIS G 0555、ASTM E 45、BS EN 10247、GB/T 18254、DIN 50 602などを含む、サポート標準で言及されている複数の処理方法、A ~ E法、K法、M法、P法など。システムは定期的に最新の介在物基準を更新する。

6、自動的に介在物を識別する

システムは介在物を自動的に識別し、スクラッチまたはマイクロクラックを自動的に識別し、除去する。介在物種別の自動分析（それぞれ異なる色で表示）、介在物粒子パラメータの自動統計、混在粗系または細系を自動的に判定し、同類混在粒子を連結し、選定基準に基づいて格付けする。同時にデータと画像の任意のブラウズ、永久保存レビューをサポートする、介在物粒子の編集/分解/再結合を支持する、陰影補正をサポートし、識別精度を高める、フレーム間粒子探査技術をサポートし、交雑寸法の正確さを保証する。多種の統計分析ツールを提供する：MAP図、介在物粒子リスト、介在物統計結果、ヒストグラムなど。

7、専門的な介在物検査報告書

専門的な介在物格付け報告書、各カテゴリの介在物格付けを含み、異なる基準に基づいて対応する専門報告書を生成する、レポートのパーソナライズされたデザインをサポートします。