制御アルゴリズムは、HORIBA STEC制御最適化技術を用いてFS−3000上流圧力を制御しながら、流量比を制御することにより安定した分流制御を実現する。また、シャント比が変化しても、制御アルゴリズムはシャントに対する高速応答を実現することができる。

• 拡張性の向上、メンテナンス性能の向上。FS−3000は、高速信号処理により最大15個のチャネルを分離することができる。MFCに障害が発生した場合は、障害スレーブを交換するだけです。

• 柔軟に対応するために必要な仕様FS-3000は、混合ガスを含む複数のガスをサポートしています。また、FS-3000はRS-485、DeviceNetなどのユーザーインタフェースにも対応しています。