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製品の詳細
利点：
- 高真空環境に適した：ステンレス鋼ボディ
- 耐食性：PTFEボディオプション
- RoHS規格
排気流量が適切なレベルに調整された場合：
- エッチング防止剤は薄膜形態で均一に分布する
- 煙の二次堆積防止
- 危険蒸気拡散防止
流量センサ制御に比べて、エッチング防止剤と他の汚染物の蓄積による感度変化は小さく、同時に乱流と他のノイズの影響を除去し、制御の正確さ、安定性、迅速さを確保した。
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