製品の特徴

PRODUCT FEATURES

クリーンオーブン半導体ウエハ、液晶、光学モジュール、カメラモジュール及びその他の焼成に対する要求の高い部品及び設備の熱処理/乾燥又は老化に広く用いられ、クリーンルーム環境に設置するのにも適している。100段の清浄度は主に初期効率フィルタ、HEPA高効率フィルタ、前後層流循環システムを使用することにより実現され、加熱または冷却中に安定した性能を提供する。

簡単で便利なPIDマイクロプロセッサの温度制御範囲は、環境温度+15°Cから200°Cの範囲で設定できます。クリーンオーブンはPT 100白金センサを用いて実際のチャンバ温度を測定し、0.3µmHEPA高効率フィルタを用いて、空気を有効に循環濾過する。流量計とNPT部品を選択して配置し、不活性ガスをチャンバ内に導入して特殊なプロセスベーキングを行うこともできる。

クリーンオーブン外材質はSPCC鋼板でソーダ水洗浄後の粉体塗装処理を経て、内部は腐食に強いステンレス鋼。調整可能な4つの穴あきステンレスブラケットを搭載し、ブラケットと本体は取り外しやすく、洗浄しやすい。

安全機能には、独立した超温保護、相順保護、停電保護などの多重保護機構が含まれ、使用の安全を確保する。安全ドアが設置されており、指定された温度までベーキングしてからドアを開けることができ、操作者の操作の安全を確保することができる。

製品の特徴

●すべての溶接構造と密封構造は持続的に低い粒子数を確保する、

●キャビティはステンレス（304型）を採用し、耐食性がある。

●内胆は満溶接処理を採用し、管路はシームレスステンレス鋼管部品溶接処理を採用する、

●外部焼付け塗料は白色粉末コーティングであり、持続的な腐食防止保護を提供することができる、

●ガラス繊維絶縁を利用して、キャビネットの低い表面温度を確保する、

●大型ドアの二重密封保温構造、

●独立した超温保護、

●各オーブンは完全に組み立てられ、工場の個別テストに合格しています。

●耐熱HEPA空気ろ過輸送システム、

●すべての再循環空気は循環ろ過を行い、環境清浄室空気を使用しない、

●フィルタを交換する必要がある場合は、空気圧計で知ることができます。

●高容量水平空気再循環システムと電気加熱システムは性能温度を実現することができる。

オプションコンポーネント

1、温度レコーダ（紙製化または紙なし化）

2、プログラマブルコントローラ、イーサネット、485/232通信

3、輸送と設置のためのクリーンルーム包装

4、ラミネートフレーム

5、MES通信設定

製品パラメータ

PRODUCT PARAMETERS

カスタムサービス

CUSTOM SERVICE深セン怡和興は異なる程度の均一性、サイズ、温度範囲を提供することができます。特定の要件や仕様がある場合は、お客様のニーズに合わせてお問い合わせください。これにより、デバイスの設計、テスト、調整がお客様の要件を満たすことができるようになります。