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製品の詳細
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あつりょくふかんせいのう
高性能圧力補償の新機能によりガス供給システムを簡素化 -
マルチレンジ、マルチガス、マルチ圧力ソリューション
新機能により、ユーザーはガスタイプ、フルレンジ流量、供給圧力範囲を変更することができる -
G-LIFE（統合電流制限器方程式のガス法則検査）自己診断機能
先進的なプロセス健康監視機能により、オペレータ自身がテストを行うことができ、合格量を増やしても、通常は3秒以上でテストを完了することができます。 -
高精度
先進的な3次元調整機能によりプロセスガスの流量精度が向上 -
迅速な応答
応答時間：0.8秒未満
正確で安定した流量制御が可能 -
ダイナミックレンジ
制御範囲が広い：0.2%フルレンジから100%フルレンジ
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