一、紹介：
D 633型直動式サーボバルブは、米国MOOG社が生産した高性能サーボバルブであり、このバルブは線形力モータを用いて直接バルブコアの移動を駆動し、バルブコアの他方の端に取り付けられた変位センサをフィードバック信号入力ドライバとして閉ループ制御することにより、バルブコアの正確な変位制御を達成する。このサーボ弁は従来の比例弁に比べて制御精度が高く、動的応答速度が速く、汚染防止能力が強いなどの特徴があり、高レベルの電気液サーボ材料試験機の制御性能要求を満たすことができる。

二、性能指標：
定格流量（L/min）：5/10/20/40
定格圧力（MPa）：35
給電電圧（V）：DC 24
信号電圧（V）：±10
応答時間（ms）：≦12