CYG 513型薄形圧力センサは空気力学研究中、風洞中の試験モデルの表面圧力場分布のために設計された。特にモデルが薄く、穴を開けてマイクロプローブ型センサを取り付けることができない用途に適しています。極薄センサーを直接貼り付けるか、浅い穴を掘って埋めてモデルの表面に平らに貼り合わせて取り付けます。非常に薄い専用のフレキシブルリードは、モデルの表面に直接貼り付けることができます。そのため、測定流場にはほとんど影響しません。

CYG 513の圧力感受性素子は先進的なMEMS技術を用いて設計・製造されている。三次元集積、両面加工のシリコン圧力抵抗圧力感受性素子は優れた線形精度、イオン注入、微細リソグラフィ技術によって作製されたホイートストン歪ブリッジの高い一致性によって、それは非常に小さい温度ドリフト、体微小機械加工を有し、精密異方性腐食及びシリコン-ガラス陽極結合技術によってシリコン薄膜感受性構造は非常に高感度で、優れた安定性を有し、優れた動的性能を有すると同時に比較的薄い厚さを有する。総合力感受性構造と基板補強構造の総厚さはわずか0.9 mmであり、比較的薄い最終サイズの薄形センサを得るのに有利である。

CYG 513は表圧測定モードであり、標準圧力レンジは2、5、10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000 kpaである

CYG 513の外形は薄い丸ボタン式である。最小直径はφ10 mm、厚さは4 mmで、基準圧力は背面開口で引き出すことができ（513 G）、側面リード部に毛細管で引くこともでき（513 D）、引き出し線は5線フレキシブル電線で、長さは1 mで、1 m終点にPCB板で作られたブリッジ補償バランサが接続され、フレキシブル電線の厚さは0.15 mm、幅は4 mmである。（Φ2.5 mm多芯シールドケーブルで出線することもできる）

CYG 513は感受性素子の裏面で圧力を受けるため、優れた媒体互換性があり、水流動力学用途にも使用できる。それはかなり広い動作温度域と非常に優れた動的周波数音特性を持っており、低〜ゼロ周波数、高〜数万ヘルツ周波数帯で使用することができる。

1、性能指標パラメータ

2、フルレンジ出力：最小値30 mv典型値80 mv最大値130 mv

3、入出力インピーダンス：最小値3 kΩ典型値5 kΩ最大値7 kΩ

4、入力動作電流：1 mA（定電流源）

5、動作温度範囲：-55℃～120℃

6、補償温度範囲：-10℃～80℃

7、過負荷能力：定格レンジの200%

8、加速度感度：＜0.001%FS/g

9、外形寸法図：