CYG 512型薄形圧力センサは空気動力学の研究において、風洞中の超薄形モデルの上下表面圧力場分布のために設計され、CYG 511の改良型である。特に縮小型の径方向寸法が大きく、厚さが小さく、穴を掘ったり埋めたりすることができず、表面に貼り付けることしかできないモード設計に適している。1 mm程度の厚さは、その対流場への影響を小さくする。
CYG 512はCYG 511と同様の先進的なシリコンが直接結合した圧力感受性チップを使用し、優れた静的力学特性を持っている。精密設計と加工のパッケージ構造は総厚さを1 mm程度に縮小すると同時に、感受性素子とセンサの圧入ハウジングのパッケージ空間の容積を大幅に減少させ、浅型管腔の動的周波数音への影響を最小にするため、優れた動的特性を持っている。
CYG 512の標準圧力レンジは100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000 kaである。
CYG 512の外形寸法は2種類あり、1種類は薄いボタン形で、すすの8 mm直径、総厚さは1.2 mmである、1種類は薄い条片形で、6×10×1 mm引き出し線はすべて4 mm幅、0.15 mm厚さ、1 m長可撓性リード線である。薄いバックルはステンレス鋼構造で、上面の極薄ステンレス鋼薄膜にはレーザードリルによる均布式と螺旋線形吸気ふるい孔がある。薄いストリップ式のトップカバーはなく、感応素子を貼り付けるところに薄いシリコーン保護膜をカバーするだけで、ユーザーは自分の実用的な状況のニーズに応じて選択することができる。
1、性能指標パラメータ:
| 指標/レベル | ひせんけいせいど ±%FS |
ヒステリシス反復性 %FS |
ゼロ温度係数 ×10-4FS /℃ |
かんどおんどけいすう ×10-4FS /℃ |
ゼロ時漂 <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、フルレンジ出力:最小値30 mv典型値80 mv最大値130 mv
3、入出力インピーダンス:最小値3 kΩ典型値5 kΩ最大値7 kΩ
4、入力動作電流:1.5 mA(表圧タイプ)1 mA(絶圧タイプ)(定電流源)
5、動作温度範囲:-55℃~+120℃
6、補償温度範囲:-10℃~+80℃
7、過負荷能力:定格レンジの200%
8、加速度感度:<0.001%FS/g
9、外形寸法図:

