CYG 511型薄形圧力センサは空気力学研究中、風洞中の試験モデルの表面圧力場分布のために設計された。特にモデルが薄く、穴を開けてマイクロプローブ型センサを取り付けることができない用途に適しています。極薄センサーを直接貼り付けるか、浅い穴を掘って埋めてモデルの表面に平らに貼り合わせて取り付けます。非常に薄い専用のフレキシブルリードは、モデルの表面に直接貼り付けることができます。そのため、測定流場にはほとんど影響しません。

CYG 511の圧力感受性素子は先進的なMEMS技術を用いて設計・製造されている。三次元集積、両面加工のシリコン圧力抵抗圧力感受性素子は優れた線形精度、イオン注入、微細リソグラフィ技術によって作製されたホイートストン歪ブリッジの高い一致性を有し、それに非常に小さい温度ドリフト、体微小機械加工を持たせ、精密異方性腐食及びシリコン直接結合技術によってシリコン薄膜感受性構造は高感度を有し、優れた安定性を有し、優れた動的性能を有すると同時に超薄な厚さを有する。総合力感受性構造と基板補強構造の総厚さはわずか0.6 mmであり、より薄い最終サイズの薄形センサを得るのに有利である。

CYG 511は絶圧測定モードであり、標準圧力レンジは100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000 kpaである。

CYG 511の外形は薄い丸ボタン式である。公称直径はφ8 mm、厚さは2.2 mm、引き出し線は5線のフレキシブル電線で、長さは1 mで、1 m終点にPCB板で作られたブリッジ補償平衡器を接続し、フレキシブル電線の厚さは0.15 mm、幅は4 mmである。

CYG 511は、感受性素子を用いて前面に圧力を受けるため、完全に腐食性がなく、導電性のない乾燥ガスに適している。それはかなり広い動作温度領域と非常に優れた動的周波数音特性を持ち、低〜ゼロ周波数、高〜数千ヘルツ周波数帯域で使用することができる。誘電体因子が複雑で、含水量が高い場合は、有機シリコーンゲル保護表面及び電極を複写したCYG 511 Sを使用することができる（有機シリコーンゲルはその動的周波数音響性能を低下させる）。薄膜有機材料を用いて保護を被覆した製品CYG 511 Pは、保護膜の厚さがumオーダーであるため、動的周波数音に対する損失が少なく、特製周期が長く、コストが増加している。

1、性能指標パラメータ：

2、フルレンジ出力：最小値30 mv典型値80 mv最大値130 mv

3、入出力インピーダンス：最小値3 kΩ典型値5 kΩ最大値7 kΩ

4、入力動作電流：1 mA（定電流源）

5、動作温度範囲：-55℃～+120℃

6、補償温度範囲：-10℃～+80℃

7、過負荷能力：定格レンジの200%

8、加速度感度：＜0.001%FS/g

9、外形寸法図：