公称寸法外径8 mmの円筒形マイクロ高圧センサCYG 508はもともと創傷医学であり、高周波動的高圧を埋植測定して設計された、高周波動的圧力センサCYG 401のマイクロ化パッケージ製品である。小容積体内の爆燃高圧、石油採掘圧力破裂測定井戸などの小サイズ設置を要求する動的高圧試験用途にも使用できる。
CYG 508の圧力感受性素子は先進的なMEMS技術を用いて設計と製造され、背面斉平耐圧、無管腔包装など一連の特許技術を採用している。そのため、数百キロヘルツに達する固有周波数を持ち、サブ微妙な上昇時間に達し、高周波動的圧力試験の要求を確保した。小さなパッケージ外形寸法は、特殊な環境条件の要件を満たしています。(6 Mpa以上の動的要求がある場合はその構造取付強度に注意)
CYG 508マイクロ高圧センサは、表圧(2 Mpa以下の場合)またはシール表圧(2 Mpa以上の場合)モードであり、その外形は標準的な小円筒形および派生的なねじ取付型があり、詳細は外形図を参照。
CYG 508の標準レンジは1、1.6、2.5、4、6、10、16、25、40、60 Mpaであり、その余裕レンジは特注を協議する必要がある。
CYG 508はシリコン、ガラス、ステンレス鋼、エポキシ樹脂接着剤と互換性のある任意のガス、液体媒体に適している。
1、性能指標パラメータ
| 指標/レベル | ひせんけいせいど ±%FS |
ヒステリシス反復性 %FS |
ゼロ温度係数 ×10-4FS /℃ |
かんどおんどけいすう ×10-4FS /℃ |
ゼロ時漂 <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、フルレンジ出力:最小値30 mv典型値80 mv最大値130 mv
3、入出力インピーダンス:最小値3 kΩ典型値5 kΩ最大値7 kΩ
4、入力動作電流:1.5 mA(定電流源)
5、動作温度範囲:-40℃~+105℃
6、補償温度範囲:-10℃~+60℃
7、過負荷能力:定格レンジの200%
8、加速度感度:<0.0005%FS/g
9、外形寸法図:(特殊外形は協議して注文することができる)

