製品の概要

常温触媒型ガス精製システム

バルクガス精製に特化しており、最低コストと高品質ガス精製ソリューションを提供します。構造がコンパクトで、低コストで動作し、信頼性が高いという利点があり、さまざまな不純物を含むバルクガスを効率的に精製して超純度のガス要求に達することができ、最小の圧力降下と卓越した連続動作能力を兼ね備えている。システム全体はバール設計を採用し、その応用は広く、異なる寸法要求の現場と各種分野で応用できる。

製品のパフォーマンス

◎99.99%以上の純度の原気との併用に適している

◎この製品はデュアル構造で、1組の作業、もう1組の再生予備

◎ガス精製後の水、酸素等の各種不純物含有量＜10 ppb

◎電気化学研磨316（L）ステンレス鋼◎内蔵高効率フィルター

◎最適な処理周期設計、吸着剤装填量が大きく、使用寿命が延びる

◎この製品は全体的にこじ開けて設計し、配置がコンパクトで、敷地面積が小さい

製品の用途

◎保護ガス精製：鉄鋼、石化、機械業界

◎高純度単結晶シリコン、ウェーハエピタキシー、大規模集積回路、光電製品の生産などの電子工業に必要なガスの一次精製。

◎半導体プロセス設備：CVD、MOCVD、HVPE、拡散炉など

◎バルクガス精製

システムパラメータ