気化過酸化水素（VHP）滅菌器は、過酸化水素が常温でのガス状態を利用して更に胞子を殺す能力を有する利点であり、遊離した−OHを生成して、細胞成分を攻撃するために用いられ、脂質、蛋白質とDNAを含み、完全滅菌の要求を達成する技術である。隔離室、アイソレータなどの密閉空間の滅菌によく用いられる。

気化過酸化水素滅菌は、過酸化水素が常温で気体状態が液体状態よりも胞子を殺す能力を持つ利点を利用して、液体H 2 O 2を気化して急速に遊離する水酸化基（HO－）に生成し、脂質、蛋白質、DNA組織を含み、その構造を破壊し、完全滅菌の要求を達成するために細胞成分を攻撃するために用いられる。
気化過酸化水素滅菌器は、濃度35%のH 2 O 2溶液、すなわち過酸化水素水を気化器を介して過酸化水素蒸気に気化させ、その後プラズマ器を介して粒子をガスHO−に変化させ、管を介して空間に移送して消毒滅菌する装置である。

プラズマ気化過酸化水素滅菌器の生物除染過程は4段階に分けることができる：

1.気化段階：過酸化水素溶液を気化器に入力して過酸化水素蒸気に気化し、ファンを通じて混合タンクに入力し、処理を待つ、

2.プラズマ発生段階：蒸気状態の過酸化水素をプラズマ発生タンクに導入し、蒸気過酸化水素をプラズマ過酸化水素に変換し、滅菌タンクに送り込む、

3.生物除染保持段階：予め設定された濃度（一般的に生物試験紙の検証濃度値を基準とする）に達するまで滅菌チャンバーに過酸化水素プラズマを入力し続け、計時を開始し、予め設定された濃度の上に30 ~ 35 min保持し、生物除染が完了し（経験的に30 min滅菌効率が6-logに達した）、過酸化水素の気化とプラズマ化を停止する、

4.残留段階：ガス路システムは随所残留装置を切り替え、気化プラズマの過酸化水素を分解器を通じて水と酸素に変換し、絶えず循環して空気中の過酸化水素濃度を1 ppm以下に下げる。

各段階の操作は手動で個別に制御することも、自動的に制御することもでき、順番に1つずつ実行することができます。