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AWLシリーズウェハ検査システム
AWLシリーズウェハ検査システムは安定性と安全性を兼ね備えており、安全で信頼性の高いウェハを搬送することができ、前方から後方工程のウェハ検査に適している。
製品の詳細
現在、AWLシリーズウェハ搬送機はAWL 046、AWL 068の2種類の機種を持ち、それぞれ4/6インチウェハ検出、6/8インチウェハ検出に適用でき、その適応範囲は広く、かつ柔軟で、自由に設置できる検査モードを組み合わせ、人間工学設計に十分に適合し、操作が快適で、簡便である。
AWLシリーズウェハ検査システムの利点
●360°マクロ検査
AWLシリーズウエハ検査システムはマクロ検査腕を有し、結晶面マクロ検査、結晶背マクロ検査1の360°回転を実現でき、傷跡と微塵を発見しやすい。レバーを操作することでウエハを任意に傾斜して見ることができる。結晶面の傾斜角度≦70°、結晶背1の傾斜角度≦90°、結晶背2の傾斜角度≦160°、回転機能、傾斜角度を利用して、完全に結晶円の表裏及び縁全体を目視検査することができる。
●人間工学設計
ウェハ検査システムのLCDディスプレイは、操作者により直感的な視覚体験を提供し、現在の検査項目と順序を明確に表示し、調整パラメータが一目でわかる。
ウェハ検査システムの手動迅速放出真空ステージは、操作者の快適さと作業効率を高めることができる。
ウエハ欠陥検査の応用例
AWLシリーズウェハ検査システム技術仕様
モデル |
AWL046 |
AWL068 |
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ウェハサイズ（SEMI仕様） |
150mm/125mm/100mm |
200mm/150mm |
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ウェハの最小厚さ |
150μm |
180μm |
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タイプ |
オープンカートリッジ（SEMI Stad.25（26）-slot） |
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カートリッジ数 |
1 Port |
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チェックモード設定 |
全検査/奇数検査/偶数検査/手動選択 |
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カートリッジ内ウェハ走査 |
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ウェハ所定位置 |
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ウェハ位置決め |
0°、90°、180°、270°の向き設定をサポートする非接触式位置決め平辺/V溝 |
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チェック機能 |
ミクロ検査 |
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結晶面マクロ検査 |
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結晶背マクロ検査1 |
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結晶背マクロ検査2 |
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適合顕微鏡 |
SOPTOP金相顕微鏡MX68R |
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ステージ |
6インチ4層機械移動プラットフォーム、低ハンドX、Y方向同軸調整、360°回転可能なウェハ受け台、移動ストローク228 mm（X方向）×170 mm（Y方向）観察範囲： |
8インチ4層機械移動プラットフォーム、低ハンドX、Y方向同軸調整、ウェハシート受け台、360°回転可能、移動ストローク280 mm（X方向）×210 mm（Y方向）観察範囲： |
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電源装置 |
1P/220V/16A |
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しんくうげん |
—70KPA |
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