12インチオリンパスウエハ検査システムの主な特性：

●堅牢、信頼性、安全な転送

12型オリンパスウエハ検査システムは、先代モデルの堅牢性、信頼性、安全性を継続し、安全で信頼性の高い300 mmウエハの搬送が可能であり、しかもシート、Warpedウエハも安全に搬送できる。

●人間工学設計、操作が便利

12型オリンパスウエハ検査システムが自由に設置できる検査モードは、設計上、裏道工事における操作性を考慮し、特に設備の操作の簡便性を重視している。FOUP（ロードポート）とFOSBの2機種にそれぞれ対応している。

12インチオリンパスウエハ検査システムのマクロ観察位置の最適化と操作ユニットの集中配置により、設備の操作性を高めた。

自動300 mmウェハ検査システムAL 120-12技術仕様